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研磨塌边
双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究 豆丁网
2011年3月21日 研磨抛光加工中工件存在“塌边现象”，这导致工件的表面平整度变差。 本文对双面研磨抛光中工件“塌 边”这一问题进行研究，分析造成工件表面“塌边”的各种因 本文对双面研磨抛光中工件"塌边"这一问题进行研究,分析造成工件表面"塌边"的各种因素,以及相应解决方法,对进一步提高双面研磨抛光加工质量具有重大意义。双面研磨抛光中工件表面"塌边现象"的研究 百度学术
一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法与流程
2019年4月3日 本发明可以在机械研磨和机械抛光中对工件边缘进行有利地保护，能够减小或抑制塌边现象。 同时本发明还具有结构简单，可实现性强，拆卸方便等优点。2024年6月7日 针对单面研磨中存在的塌边的现象，XIE 等提出外加保持环的方式来防止塌边现象，并分别在 保持环和晶圆表面施加不同的压力，从而缓解工件 边缘处压力急剧增大 双面研磨技术研究现状与发展趋势 网易
抛光塌边产生的原因 百度文库
通过调整抛光压力、选择合适的抛光材料、控制抛光速度、处理金属表面不平整以及合理设置抛光工艺参数，可以有效解决抛光塌边问题，提高制品的质量和工艺水平。 本文对双面研磨抛光中工件“塌边”这一问题进行研究,分析造成工件表面“塌边”的各种因素,以及相应解决方法,对进一步提高双面研磨抛光加工质量具有重大意义。 Sorry, we did not 双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究 Semantic
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一种机械研磨或抛光过程中抑制边缘效应的方法与流程
2019年4月17日 利用机械研磨抛光过程中减小塌边现象的方法，能够显著地减小塌边现象，能够获得更好的平坦化效果。 同时，可以实时根据加工表面的状况修整盘面，最终能够获得塌边现象不明显的平面。“双面研磨抛光中工件表面"塌边现象"的研究”出自《新技术新工艺》期刊2010年第2期文献，主题关键词涉及有平整度、双面研磨抛光、形状精度、塌边等。双面研磨抛光中工件表面"塌边现象"的研究期刊钛
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一种机械研磨或抛光过程中抑制边缘效应的方法与流程
2019年4月17日 具体步骤为：首先，将平面零件在修整好的研磨盘上进行研磨，确定塌边区域的宽度和深度；其次，将研磨盘内外圈均修整为台阶形貌，台阶宽度大于塌边区域的 一般情况下,当方形元件在加工过程中出现塌角的面形后,就会增大偏心距,使边角在抛光过程中漏出抛光模而不被磨削,称 为漏边通过减少边角的抛光时间可以降低磨削量,但是漏出的 标题